多晶硅生产工艺流程.doc

创作时间：二零二一年六月三十日 创作时间：二零二一年六月三十日 多晶硅生产工艺流程(简介)之马矢奏春创作 创作时间：二零二一年六月三十日 来自于网络收集 多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括,三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采纳氯氢化）,精馏,还原,尾气回收,还有一些小的主项,制氢、氯化氢合成、废气废液的处置、硅棒的整理等等.主要反应包括：Si+HClSiHCl3+H2（三氯氢硅合成）;SiCl4+H2SiHCl3+HCl（热氢化）;SiHCl3+H2SiCl4+HCl+Si（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来,由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同,因今生产工艺技术分歧；进而对应的多晶硅产物技术经济指标、产物质量指标、用途、产物检测方法、过程平安等方面也存在不同,各有技术特点和技术秘密,总的来说,目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法.改良西门子法是目前主流的生产方法,采纳此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％.但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中.这些公司的产物占全球多晶硅总产量的90%,它们形成的企业联盟实行技术封锁,严禁技术转让.短时间内财富化技术垄断封锁的局面不会改变. 西门子改良法生产工艺如下： 这种方法的优点是节能降耗显著、本钱低、质量好、采纳综合利用技术,对环境不发生污染,具有明显的竞争优势.改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉,三氯氢硅沸腾床加压合成炉,三氯氢硅水解凝胶处置系统,三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统,硅芯炉,节电还原炉,磷检炉,硅棒切断机,腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置,还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器,控制仪表,热能转换站,压缩空气站,循环水站,变配电站,净化厂房等. （1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅, 其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑ （2）为了满足高纯度的需要,必需进一步提纯.把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3). 其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反应温度为300度,该反应是放热的.同时形成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si). （3）第二步伐中发生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:过滤硅粉,冷凝SiНС13,SiC14,而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到年夜气中.然后分解冷凝物SiНС13,SiC14,净化三氯氢硅（多级精馏）. （4）净化后的三氯氢硅采纳高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原堆积而生成多晶硅. 其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl. 多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒（直径510毫米,长度1.52米,数量80根）,在棒上生长多晶硅,直径可到达150200毫米. 这样年夜约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅.剩余部份同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离.这些混合物进行高温分离,或再利用,或返回到整个反应中.气态混合物的分离是复杂的、耗能量年夜的,从某种水平上决定了多晶硅的本钱和该3工艺的竞争力 创作时间：二零二一年六月三十日