一种抑制声表面波器件横向能量泄露的方法.pdfVIP

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  • 2023-08-09 发布于四川
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一种抑制声表面波器件横向能量泄露的方法.pdf

本发明公开了一种抑制声表面波器件横向能量泄露的方法,声表面波器件包括压电基底层和电极层,电极层包括两汇流条、叉指和假指;假指和叉指为多个并设置在两汇流条之间形成由正电极、负电极交叉排列的IDT图形;每一汇流条上的任一叉指始终在另一汇流条上有与之正对的假指且两者之间具有间隙。通过增加假指单位长度质量,使之大于叉指单位长度质量,以在假指区域构建声波传播的慢速区域,形成声波横向传播的能量陷阱,阻止声波能量泄露至汇流条区域,从而抑制声表面波器件横向能量泄露。本发明能够将绝大部分声波能量束缚在激励区域内,

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116566353 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310676445.0 (22)申请日 2023.06.08 (71)申请人 中国电子科技集团公司第二十六研

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