机械量包括:长度、位移、速度、转角、转速、力、力矩、振动等参数。其中位移和力的大小是机械量检测的主要任务。
按机械量检测原理分类:见表8-1
机械式
电气电子式
光学式;8 机械量测量;一、电容式位移检测方法;变极距式;变面积式;二、电感式位移检测方法;互感式—差动变压器式;三、光纤位移检测方法; 光源的光经发送光缆的端面处呈圆锥状扩散,照射到物体表面;被测物体反射光的一部分经接受光缆传到光敏元件,照射光圆锥和发射光圆锥相重叠部分的光强将被检测出。光强随物体的位移的变化而变化。; 数字式位移检测是利用栅格编码器将长度或角度的变化直接转换成脉冲个数或二进制符号的方法。包括光栅标尺、容栅标尺和磁栅标尺等多种方式。; 当两光栅栅线不平行,相差微小角度θ时,在与栅线近似成直角的方向上有粗条纹产生,称为莫尔条纹。;容栅传感器是基于变面积工作原理的电容传感器,它的电极排列如同栅状。与其他大位移传感器,如光栅、磁栅等相比,虽然精度稍差,但体积小、造价低、耗电省,广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以下行程的测量中。
容栅传感器可分为三类:直线型容栅、圆容栅和圆筒形容栅。其中,直线型和圆筒形容栅传感器用于直线位移的测量,圆形容栅传感器用于角位移的测量。;各种容栅测量装置;各种容栅卡尺(续);各种容栅数显卡尺(续);各种容栅数显卡尺(续);容栅数显卡
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