用于多电子束系统的微像差补偿器阵列.pdfVIP

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2023-08-12 发布于四川
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用于多电子束系统的微像差补偿器阵列.pdf

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本发明公开一种系统。在实施例中，所述系统包含电子源及微透镜阵列(MLA)，所述MLA经配置以接收来自所述电子源的一或多个一次电子束且将所述一或多个一次电子束分割成多个一次细电子束。在实施例中，所述系统进一步包含微像差补偿器阵列(MSA)，其包含多个十二极静电像差补偿器，其中所述MSA经配置以消除所述多个一次细电子束的四阶聚焦像差或六阶聚焦像差中的至少一者。在实施例中，所述系统进一步包含投影光学器件，其经配置以接收所述多个一次细电子束且将所述多个一次细电子束聚焦到样本的表面上。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115053318 A (43)申请公布日 2022.09.13 (21)申请号 202180012116.5 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限