原创力文档- 1
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- 2023-08-12 发布于四川
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本实用新型关于一种量测真空腔室压力的组件，包括真空压力计、隔离阀、及手动阀。真空压力计是经由一管路而流体连通至真空腔室，以量测真空腔室中的压力。隔离阀是设置于真空压力计与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至真空压力计及真空腔室。手动阀是设置于隔离阀与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至隔离阀及真空腔室。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210071221 U
(45)授权公告日
2020.02.14
(21)申请号 20192
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