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一种新型的冷镜式精密露点仪 一、 湿度测量的应用 湿度是气体中水的含量，是一个重要的环境参数。大气中的水蒸气影响着自然界的物理、化学和生物过程。湿度影响气体的热、电、光和传递方面的特性。环境湿度还影响固体和液体材料中的水分含量, 引起材料的尺寸变化, 金属材料的腐蚀, 甚至决定生物体的存亡。 湿度的测量范围可以跨越109的数量级, 从极高纯气体仅含几个ppb的水蒸气浓度, 到大气压下的纯饱和水蒸气。 湿度测量和控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性, 各国都在不断更新改造其湿度标准。湿度测量已成为国际标准化组织和国际有关技术委员会关注的焦点。在ISO9000质量体系认证、ISO17025实验室认可中有湿度测量方面的要求, 一个良好、确定的环境质量可减少由此引发的技术争端, 保证产品质量, 也促进了湿度传感器技术市场和校准检测实验室的发展。 二、 湿度、干气比和热力学温标、温度 测量气体湿度的基本量是混合比, 即水蒸气质量和干气质量之比, 用重量法湿度计得以实现。在重量法湿度计中, 气流中的水蒸气和载气被分离, 并且被分别收集和称量 (或间接测量干气的体积和密度) 。英国NPL的重量法湿度计可同时测量水蒸气质量和干气质量, 它是目前测量范围最大, 测量不确定度最小的重量法湿度计。混合比对于湿度是最直接、最基本的量, 但用重量法测量混合比技术难度大、操作繁琐。 实际测量湿度量值大多数采用露点, 尽管露点不是最基本的湿度单位量。如果把混合比与湿度的关系比喻为热力学温标与温度的关系, 则露点与湿度的关系类似于实用温标 (ITS-90) 与温度的关系。 在此, 笔者介绍几种典型的湿度计的研究进展情况。 1. 湿度传递应用 冷镜式精密露点仪是指热电冷却镜面, 自动检测露层的平衡式精密露点仪。这种露点仪是根据露点温度的定义设计制成的。由于制作原理可靠, 技术成熟, 该仪器被作为湿度传递标准, 广泛应用于国家湿度标准实验室。目前, 瑞士MBW生产的一种冷镜式精密露点仪的测量范围可达-95℃~+95℃, 最大允许误差±0.1℃;在被测气体管路吹扫好的情况下, 使用ORIS功能测量露点-75℃只需要20分钟。这种新型冷镜式精密露点仪还有清除镜面过冷水的功能, 也可以用配备的内窥镜观察镜面结露、结霜情况。此外, 它所配备的加热进气管路附件, 可用于露点高于室温时的露点测量。 2. 蒸发水溶液的测量 大气压离子质谱仪APIMS是通过测量分子离子的质荷比丰度来检测水蒸气浓度的。大气压离子质谱法灵敏度高, 对于ppb量级的湿度测量, 该方法可能是最好的分析方法, 既可以测量水蒸气也能够测量其他组分。其缺点是成本高, 操作复杂。 3. 衰荡时间及光腔衰荡光谱 在光腔衰荡光谱CRDS中, 光强在空腔内的指数衰减和物种吸收的衰荡时间有关, 而衰荡时间与物种吸收截面、分子密度 (浓度) 、空腔尺寸、吸收波长, 以及镜面反射性有关。因此, 通过测量衰荡时间即可测量分子密度。光腔衰荡光谱CRDS测量ppb量级的水蒸气浓度是一个新方法, 据美国Tiger Optics公司报道, 从700ppb切换到0或从0切换到700ppb, 仪器响应时间只需几分钟, 并可检测多个组分浓度。美国NIST希望将这种方法发展成检测极低含量水蒸气浓度的标准方法。应该注意, 光腔衰荡光谱CRDS和可调谐激光二极管吸收光谱TDLAS的测量原理是不同的。 4. 对露点误差的测量 高分子湿度电容最早用于相对湿度的测量, 它的示值误差一般是2%RH~3%RH。把它用于露点测量不是不可以, 只是按以上相对湿度测量准确度计算, 若要测量3%RH以下的相对湿度, 露点误差就会很大。Vaisala公司巧妙地应用了加热回归技术, 将高分子湿敏电容用于露点测量, 其中露点的测量下限达到-60℃~-80℃, 露点测量的示值误差达到±2℃。一般来说, 该仪器测量露点为-40℃以下且误差较大, 因此需要经常自校, 但幸好其自校软件都集成在仪器中。 三、 标准湿度发生器:si单位,si单位 标准湿度发生器的工作原理应建立在坚实的理论基础上, 并反映新的技术进展, 标准湿度发生器的量值可溯源到SI单位。 湿度发生器是在一定的温度、压力下产生恒定湿气的, 它也被用于校准湿度计。 1. 扩散渗透法的工作原理 为了满足溯源性校准的需要, 很多国家的湿度实验室已经建立或正在建立低霜点湿度发生器, 其水蒸气浓度低于1ppm。低霜点湿度发生器的工作原理有:单压法、双压法、分流法、扩散渗透法等。单压法低霜点湿度发生器可直接实现霜点, 它几乎不依赖于已有的水蒸气压数据和气体的非理想性。重要的是, 该方法不取决于气源的干燥程度, 而这一点可能是其他类型湿度发生器的主要误差来源。美国