传感技术第六章.pptVIP

传感技术第六章第一页，共二十九页，2022年，8月28日 6.1 前 言在机器感觉系统中，触觉是仅次于视觉的重要知觉形式。1.触觉定义狭义触觉是指传感器与接触对象接触面上的力觉。广义触觉包括包括接触觉、压觉、滑动觉、接近觉、冷热 觉和力觉等与接触有关的感觉。 因此，现代触觉传感器正朝多传感器集成、多传感器信。息融合的方向发展。第二页，共二十九页，2022年，8月28日 6.1 前 言2.触觉传感器分类按工作原理可分为应变式触觉传感器、压阻式阵列触觉传感器、压电式触觉传感器 、光学触觉传感器、微电子触觉传感器及复合触觉传感器等。第三页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.1 PVDF触觉传感器6.2.1.1 PVDF材料PVDF 薄膜是一种压电高聚物材料,它具有耐磨、量轻、灵敏度高、阻抗低、容易固定在复杂的表面、价格便宜、频带宽等特点。其压电性可由下式表其中:U (V ) 是两表面间的电动势; P是作用到PVDF 薄膜的应力; 为PVDF 薄膜的介电常数; h为薄膜的厚度, d3j为压电常数。d3j的下标在j= 3 的情况下表示厚度的方向, 在j= 1, 2 的情况下表示垂直于厚度的方向。纵压电效应用d33表示, 横压电效应用d31和d32表示。第四页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器触觉传感器6.2.1.2 PVDF触觉传感器的结构与工作原理(1)传感器结构第五页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器1.PVDF触觉传感器1.2PVDF触觉传感器的结构与工作原理(2)工作原理将四角锥体底面设计为正方形, 边长为a, 锥体高为a/2 , 很容易证明当从O点向表面A 作垂线时, 垂足必然为线段np的中点(图中m、n 分别为正方形一组对边的中点) , 从而得知FA 的方向必然如图中所示。 第六页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器触觉传感器6.2.1.2 PVDF触觉传感器的结构与工作原理(2)工作原理mok平面内受力平衡，有：系统Z方向受力平衡，有所以第七页，共二十九页，2022年，8月28日 完全用FA、FB、FC、FD对空间接触里进行描述，实现了对空间接触力大小方向的感知。第八页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.2.光波导触觉传感器传感器结构 该传感系统用弹性物质（硅橡胶）制成薄垫，在薄垫上方制作圆柱触头阵列，每个圆柱形触头下排列2×2 个半圆球触头，形成一个力敏感单元 。 力敏单元底部置一波导板。第九页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.2.光波导触觉传感器工作原理未受到外力时，半圆球触头不接触波导体，波导板与两侧的空气介质构成对称波导(n0-n1-n0)，在全反射条件下，光线不会泄露。当受到外力时, 圆锥触头受压产生形变,在波导板上形成圆斑, 则在该局部形成非对称波导(n2-n1-n0)，接触部分全反射条件遭到破坏，光线泄漏，形成所示的光斑。第十页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.2.光波导触觉传感器工作原理(续)一个力敏感单元中外力F 的三个分量Fx，Fy 和Fz 与光波泄漏形成的四个光斑、面积S1，S2，S3 和S4 的线性组合之间存在一定的线性关系。 l 为圆柱触头的长度, A为圆锥触头间距的一半, B、C为力的换算系数。 第十一页，共二十九页，2022年，8月28日 思考圆柱触头的长度l, 圆锥触头半间距A与该触觉传感器灵敏度、空间分辨率的关系？第十二页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.3.真空微电子触觉传感器6.2.3.1 传感器结构真空微电子触觉传感器主要由底偏压场致硅锥尖发射头阵列、微真空室和弹性阳极膜组成。结构示意图 硅锥尖阵列SEM图第十三页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.3.真空微电子触觉传感器6.2.3.2 制作流程选定基体-〉刻蚀空腔-〉刻蚀阵列柱-〉腐蚀锥尖-〉封装阳极皮肤第十四页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器6.2.3.3 工作原理在阴阳及之间加偏压至阴极开始场致发射电子阳极皮肤受压，阴阳极间距发生变化保持偏置电压恒定的情况下，场致发射电流将随阴阳极间距变化而变化通过检测场置发射电流来检测触觉第十五页，共二十九页，2022年，8月28日 6.2 典型触觉传感器光纤布拉格光栅触觉传感器FBG是在光纤纤芯内形成的空间相位光栅，能对特定波