薄膜材料及其制备.pptVIP

Zhengzhou University 第一页，共三十二页，2022年，8月28日 概 念 采用一定方法，使处于某种状态一种或几种的物质以物理或化学方式沉积于衬底材料表面，在衬底材料表面形成一层新的物质。 是由离子、原子或分子的沉积过程形成的二维材料。 状态 气态 液态 固态 结晶态 非晶 多晶 单晶 * 第二页，共三十二页，2022年，8月28日 组成 金属薄膜 非金属薄膜 物性 硬质薄膜 超导薄膜 金属导电薄膜 介电薄膜 半导体薄膜 光学薄膜 磁学薄膜 * 第三页，共三十二页，2022年，8月28日 一、物理气相沉积-蒸发法 1. 物质的热蒸发 利用物质高温下的蒸发现 象，可制备各种薄膜材料。 与溅射法相比，蒸发法显 著特点之一是在较高的真空 度条件下，不仅蒸发出来的 物质原子或分子具有较长的 平均自由程，可以直接沉积 到衬底表面上，且可确保所 制备的薄膜具有较高纯度。 制备方法 * 第四页，共三十二页，2022年，8月28日 2. 元素的蒸发速率 环境中元素的分压降至其平衡蒸气压之下时，就会发生元素的蒸发。 元素的平衡蒸气压Pe随温度的变化率： 纯元素多