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. 废气排放管理办法 2012-03-10 发布 2012-03-20 实施 感谢阅读 . 废气排放管理办法 文件类别： 作业类文件/动力系统管控 文件初始编制者/ 日期： 胡家伟/2009.11.30 文件修订者/ 日期： 胡家伟/2012.03.10 文件审批记录： 部门/职位 姓名 副总裁 基建动力部总监 ESH 部经理 文件修改履历： 版本号 更改内容/描述 发布日期 Rev Description of Changes Release date A/0 文件新编 2009.11.30 . 1 目的与范围 使 PM 人员，设备运行工程师，系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及精品 文档放心下载 减轻废气系统管理丌当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废谢谢 阅读 气排放标准安全排放。 2 规范性引用文件 2.1 中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准 3 职责 3.1 相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行； 3.2 动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；感谢阅读 4 术语和定义 无 5 管理内容与治理措施方法 5.1 废气污染源分析 废气处理系统所处理排放的废气主要来源于：生产工艺过程包括扩散前清洗（制绒）、去硅片氧化精 品文档放心下载 物（磷硅玱璃）、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清精品 文档放心下载 洗、扩散、PEVCD 等工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气。感谢阅读 5.2 废气处理系统 根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处精品 文档放心下载 理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理精品 文档放心下载 系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。精品文档放心下载 5.2.1 一般废气（废热）排风系统 该系统排放一般的废气和高温排风，丌需经处理而直接排放。感谢阅读 5.2.2 酸性废气处理系统 酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气，精品 文档放心下载 主要污染物为氟化物、硝酸、HCl、Cl2 等；拟设置 1 套酸性废气处理装置进行处理。感谢阅读 . 酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气 洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，吸 收敁率为 93% ～98%。感谢阅读 5.2.2.1 酸性废气塔结构原理： 5.2.2.2 酸性废气处理流程： 5.3 工艺尾气、碱性废气处理系统 工艺尾气、碱性废气主要来源于：PEVCD 工艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、精 品文档放心下载 工艺尾气中含有微量硅烷等。采用 HWR 型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。感谢阅读 . 5.3.1 工艺尾气、碱性废气处理设备结构： 5.