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微波电真空器件国家级重点实验室第一章 微波电真空器件概论主讲人：段兆云 教授E-mail：zhyduan@uestc.edu.cn电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室第六章 电真空材料6.1 发射材料1.简介电子发射的四种方式：热电子发射、场致电子发射、光电子发射、二次级（次级）电子发射。这样就对应于四种发射阴极。阴极被誉为电真空器件的“心脏”。光电子发射：光辐射物体。物体中的电子吸收了足够大的光量子的能量后，就可以逸出场体。次级电子发射：靠轰击物体表面并穿入物体内部的电子把动能传递给物体内的电子，使它们得到足够的能量而逸出。电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室2.热电子发射和热阴极a.热电子发射现象早在1883年Edison在白炽灯中另加一个电极，首次在真空中观察到了热电子发射现象。当时把这一现象称之为Edison-effect。Edison-effect的本质直到1897年才被Thomson揭露。热电子的发射电流密度随温度变化非常快。实验数据在很大的范围内近似地符合下面的经验公式：其中a,b是两个实验常数。对于许多金属而言，a值都很接近，但b值则不相同。?电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室后来经过Richardson和Dushman的更深入的研究和更精确的推导，得到了Richardson-Dushman eq. :??其中为阴极发射的电流密度（）,,是普通的发射常数，是阴极表面的平均场电子透射系数，T是阴极的绝对温度,为逸出功，就是使电子从阴极表面逸出所需要的最少能量，电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室,是Boltzmann（玻尔兹曼）常数。 所谓的热电子发射就是当对物体进行加热时，物体内部电子的能量随温度升高而增加，当电子的能量增大到足以克服逸出功时，电子就会从物体表面发射出来。这样得到的自由发射就简称为热电子发射。补充： 热电子发射：莫斯科大学A. T. 斯托列托夫教授和德国物理学家H. Hertz在1883年发现了热电子发射现象，在1887年发现并且研究光电子发射。这是电子现象研究的开端。?电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室 b.热阴极及其分类定义：利用能产生热电子发射的材料制成的阴极叫热阴极。按加热方式分:a. 直热式阴极；b. 间热式阴极。按材料不同分:a. 纯金属阴极：钨（W），钼（Mo），钽（Ta）,铌（Nb）等；b. 薄膜阴极：钍钨阴极，在钨表面形成一层钍原子薄膜；c. 氧化物阴极：是由钡（Be）、锶（Sr）、钙（Ca）等碱土金属的氧化物混合体作为发射材料制成的阴极；d. 储备式阴极：钡钨阴极。电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室简介钡钨阴极：因为钡钨阴极在微波电真空器件应用的最广泛，所以我以此为例来介绍钡钨阴极的特点、制备等。1) 特点：钡钨阴极就是利用海绵状钨的多孔性，即钨粒间有相当大的间隙的钨体做成阴极，使大量活性物质储备在这样的阴极钨体中，或者储备在钨体下面专门的小室中，钡原子就可以源源不断地沿着钨粒间的孔隙向表面扩散，从而使阴极保持稳定的发射。优点：a.发射能力大，寿命长，耐离子轰击和抗中毒能力强，而且在结构上有良好的机械;b.强度、耐冲击、抗震动。电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室缺点：a.阴极蒸发问题，影响阴极的使用寿命。2） 制备：关于浸渍式钡钨阴极和压制式钡钨阴极的制备过程，请同学们见教材P525~526。下面我给大家介绍几个基本方法。a.激活：所谓的激活过程就是要使阴极产生超额钡原子。因为自由钡原子的存在以及足够多的钡原子扩散到阴极表面，才可能使阴极具有良好的发射能力。b.老炼：把阴极在比工作温度稍高的温度下保持一定时间，同时支取电流，轰击其他电极使之出气，让所出气体被新蒸发的吸气剂吸收掉，使发射更加稳定。c.阴极中毒：受管内残余气体或残留物后作用，阴极的电子发射能力迅速下降。d.活性物质：能提供发射电子的物质。电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室3）性能： @950℃，直流发射：~，脉冲发射：~。 @1050℃，直流发射：左右，脉冲发射：~。?3.场致电子发射和场致发射阴极上面我们讲了热电子发射，但它存在如下的缺点： 需要消耗能量来加热发射体，而且效率低； 阴极这种热的耗散会使周围的电极升温，引起放弃，蒸发加剧，从而又会引起打火、漏电，甚至极间短路；③ 热电子发射热能利用率低，一般而言，不超过100A/cm^2；④ 阴极工作需要一个预热时间，器件才能正常工作。电子科技大学物理电子学院微波电真空器件国家级重点实验室而场致发射不需要消耗能量，当然就没有热辐射带来的一系列问题，而且它不存在发射的时间延迟，另外它的发射电流密度可达以上。⑴ 场