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传感器技术的发展 1 空气瓦斯浓度的测量 目前，矿山常用的肖氏传感器可分为两种类型：热导式和热效式。热导式瓦斯传感器是利用瓦斯与空气的导热系数不同而测量瓦斯浓度的。热效式瓦斯传感器(又称热催化式瓦斯传感器),其工作原理是利用可燃气体在催化剂的作用下进行无焰燃烧,产生热量,使元件电阻因温度升高而发生变化,测知瓦斯的浓度。 2 传感器工作原理 随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用,对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求,这就使人们更加重视对新型传感器的开发。传感器的发展,主要有以下几个方面的动向: (1)努力实现传感器新特性 由于自动化生产程度的不断提高,必须研制出一批具有检测范围宽、高灵敏度、高精度、响应速度快及互换性好的新型传感器,以确保自动化生产检测和控制的准确性。 (2)确保传感器的可靠性,延长其使用寿命 确保传感器工作可靠性的意义是很直观的,因为它直接关系到电子设备的抗干扰和误动作问题。传感器的可靠性主要体现在具有较长的使用寿命,能在恶劣环境下工作及具有失效保险功能等。 (3)提高传感器集成化及功能化的程度 传感器集成化是实现传感器小型化、智能化和多功能的重要保证。现在已能将敏感元件、温度补偿电路、信号放大电路、电压调制电路和基准电压等单元电路集成在同一芯片上。 (4)传感器微型化 微机电系统(又称MEMS)是一种轮廓尺寸在毫米量级,组成元件尺寸在微米量级的可运动的微型机电装置。MEMS技术借助集成电路的制造技术来制造机械装置,可制造出微型齿轮、微型电机、泵、阀门、各种光学镜片及各种悬臂梁等,而它们的尺寸仅有30~100 μm。 (5)新型功能材料的开发 传感器技术的发展是与新材料的研究开发密切结合在一起的,可以说,各种新型传感器孕育在新材料之中。例如,半导体材料和新工艺的进展,促进了半导体传感器的迅速发展,研制和生产出一批新型半导体传感器;压电半导体材料促进了压电集成传感器的形成;高分子压电薄膜的出现,将使机器人的触觉系统更加接近人的皮肤功能。 3 纤维基复合材料 气体传感器是指将被测气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置或器件。被测气体的种类繁多,它们的性质也各不相同。所以不可能用一种方法来检测各种气体,其分析方法也随气体的种类、浓度、成分和用途而异。 气敏元件性能与敏感功能材料的种类、结构及制作工艺密切相关。用金属氧化敏感材料制作的半导体式气敏元件具有灵敏度高,结构简单,体小质轻,坚固耐用等优点而得到广泛的应用,目前仍以SnO2材料为主。 SnO2是一种广普型的气敏材料,围绕SnO2为基体材料的气敏材料的制备及其气敏元件制备的研究课题十分活跃。SnO2粉体的粒径大小,颗粒的形状、均匀性、稳定性都直接影响着制成的气敏器件的灵敏度、功耗、响应恢复特性及稳定性等重要参数。如粉体颗粒越小,则粉体的单位比表面积越大,活性越高,由此制成元件灵敏度就越高,功耗就越低,响应恢复时间越短。为此,近年来采用纳米技术制成超微细SnO2粉体。超微细SnO2粉体方法很多,报道较多的是用低温等离子体法,测射法,沉淀法,水热法,溶胶-凝胶法,化学气相沉积法等。近年来最有潜力的方法是溶胶-凝胶法。利用溶胶-凝胶法合成SnO2超微粒子主要以有机金属化合物为起始材料或以大批量有机试剂来制备SnO2,但有机金属试剂较昂贵,给大量制备带来困难。因而通常是以廉价的SnCl4为起始原料,加入少量溶胶形成助剂,促进其溶胶形式。溶胶-凝胶法制备出粉体材料具有粒子分布均匀,纯度高,比表面积大,活性好,烧结温度低等优点。 纯SnO2的气敏特性不甚好,尤其是它的热稳定性不高。为改善其气敏特性,常在SnO2基体中掺入贵金属或其他金属氧化物。经研究表明,掺入氧化铁有利于改善SnO2的气敏特性,而且能降低成本。用此材料制备的气敏器件具有体积小,灵敏度高,响应快,稳定性好的特点。 尽管SnO2基传感材料具有许多优点,但SnO2作为材料也存在一定缺点,例如在选择性、寿命、可靠性等方面有待于进一步完善,若可燃性气体浓度过大,工作温度过高,有火灾危险等,为了找到合适的方法改善SnO2传感器的气敏性能,发挥其主要优势,克服不利因素,研究人员作了许多工作,主要有: (l)控制气敏材料微粒大小,颗粒纳米化 由于SnO2是表面电阻控制型气敏材料,表面积越大,表面活性较一般材料就越高,吸附能力也就越大,与气体反应得就越快,其灵敏度也越高,因此传感器的纳米化是制备高灵敏度气体传感器的最佳方法之一。半导体纳米团簇具有比表面积大,相对气体阻抗变化大的优点,因而可以满足气体传感器灵敏度较高、使用温度下检测范围大的要求。纳米材料有显著的表面效应,体积效应、量子效应、小尺寸效应和宏观量于隧道效应,使得它应用很广。随着纳米微粒粒径减小,比表面积增大,表面原子数增多及表面原子配位不饱和性导致大量