一种粉体表面功能化的旋转电极金属制粉的系统.pdfVIP

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2023-08-16 发布于四川
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一种粉体表面功能化的旋转电极金属制粉的系统.pdf

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本实用新型公开了一种粉体表面功能化的旋转电极金属制粉的系统，所述系统包括：制粉腔室、位于所述制粉腔室一端的旋转电极、位于所述制粉腔室另一端的等离子体炬、位于所述制粉腔室底部的粉体收集罐，所述制粉腔室和所述粉体收集罐通过粉体输运管道相连，所述旋转电极和等离子体炬同轴设置并且两者的工作面均位于所述制粉腔室内；还包括物理气相沉积装置，所述物理气相沉积装置包括靶材及所述靶材表面形成粒子沉积的装置，所述物理气相沉积装置设置在所述制粉腔室的外壁并与所述制粉腔室密封连接，所述靶材的沉积粒子发射或形成面位于所述

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210115460 U (45)授权公告日 2020.02.28 (21)申请号 20192