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本发明提供了一种用于痕量测试气体检测设备的检漏校准系统及方法，包括气体管路检漏模块、稀释仪能力验证模块、标准样品目标浓度获取模块以及样品测试模块；气体管路检漏模块由稀释气体瓶罐、三路选样阀、测试单元、进样口、第二二路选样阀、四路选样阀和检漏仪连接组成；稀释仪能力验证模块由稀释气体瓶罐、氮示踪气罐、稀释仪、四路选样阀和检漏仪连接组成；标准样品目标浓度获取模块由标准样品气瓶罐、稀释气体瓶罐、稀释仪、三路选样阀、气体出口和测试单元依次连接组成；样品测试模块由取样点、取样系统和测试单元组成。本发明将痕量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116593079 A
(43)申请公布日 2023.08.15
(21)申请号 202310487906.X (51)Int.Cl .
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