X射线智能检测装备行业深度分析报告：现状趋势、下游市场、竞争格局、机遇挑战.pdfVIP

X射线智能检测装备行业深度分析报告 （现状趋势、下游市场、竞争格局、机遇挑战） 2023年3月 目 录 X 4 1.X射线、X射线源及其工作原理4 2.我国X射线源面临供应不足的困境6 6 1.X射线智能检测设备主要应用领域6 2.X射线检测设备下游市场前景可观8 18 1.近三年发展情况18 2、行业未来发展趋势19 20 1、机遇20 2、挑战22 22 1、X射线智能检测装备领域主要企业23 2、X射线源领域主要企业23 3、行业内主要企业基本情况24 X 1.X射线、X射线源及其工作原理 X X-Ray 1895 射线(又称伦琴射线、 )是 年德国物理学家伦琴在研究阴极射线时 发现的一种射线，系高速运动的电子在与物质相互作用中产生的。在X射线管中， 从阴极发射的电子，经阴极、阳极间的电场加速后，轰击X射线阳极靶，将其动 1% X X 能传递给靶上的原子，其中约有 左右的能量转化为 射线，并从 射线照射窗 中射出。X射线源阴极发射的电子被聚焦到靶上的一个点，称之为焦点，焦点的 尺寸越小，则检测精度越高。因X射线能量高、穿透力强等特点广泛应用于医疗 健康和工业影像检测等领域。 X射线源(又称X射线发生器)是X射线智能检测设备的核心部件。X射线源的 研发涉及电子透镜(包括阴极、阳极、栅极)材料研究、电磁场数学模型研究、电 真空物理参数研究、高压系统控制、电磁干扰控制以及热管理系统开发等关键研 究工作。 图示：X射线真空管结构示意 X X 射线检测作为工业影像检测的重要方法之一被广泛应用，其核心部件 射线 发射源的焦点尺寸决定了检测精度，即焦点尺寸越小，检测精度越高。在集成电 路、电子制造、新能源电池等精密制造领域，为满足高精度检测要求，须配置微 米级、纳米级焦点尺寸X射线源，即微焦点X射线源。 X 根据密封方式的不同，微焦点 射线管分为开放式(开管)和封闭式(闭管)两 种。闭管X射线源中，阴极与阳极/靶都封闭在真空管内。在使用时无需抽真空， 闭管方式的X射线管高压一般在30kV-150kV之间，靶功率可以做到75W，使用生 3 命周期在 年左右，常用于集成电路及电子制造、新能源电池等精密检测等领域； 开管则带有真空泵、真空阀，开管的阴极和阳极/靶都可以更换。开放式的X射线 管高压一般在30-225kV之间，靶功率可以做到25W。开管精度高，零部件可以更 换，但初期设备购置成本高，多用于要求较高的科研领域或集成电路领域。 闭管式热阴极微焦点射线源与开管微焦点射线源在应用领域、焦点尺寸、最 大管电压、真空系统、电子发射形式、维护成本与使用寿命、集成形式、启动时 间、性价比等的对比情况如下： 项目 封闭式热阴极微焦点射线源 开管式微焦点射线源 集成电路封装、电子制造、新能源电 应用领域 集成电路晶圆检测 池检测 焦点尺寸 3-80μm 0.1-3μm 最大管电压