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脉冲激光法硅衬底制备氧化铈薄膜的结构性能研究
摘要：本文利用脉冲激光法在硅衬底上制备氧化铈薄膜，并对其结构和性能进行了研究。通过扫描电子显微镜、X射线衍射和拉曼光谱等方法对薄膜微观结构进行了表征，发现制备条件对薄膜结构有一定影响。同时对薄膜光学性质进行了研究，结果表明可通过调节制备工艺来得到高质量的氧化铈薄膜。 关键词：脉冲激光法；氧化铈薄膜；硅衬底；结构性能；光学性质 引言 氧化铈具有优异的光学和电学性能，在太赫兹波段的应用中具有广泛的前景。氧化铈薄膜作为一种重要的材料，其制备方法和性能研究一直是研究的热点。本文采用脉冲激光法制备氧化铈薄膜，并对其结构和性能进行了研究。 实验方法
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