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- 2023-08-17 发布于四川
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本公开的实施例涉及压电MEMS换能器和电子设备。一种在半导体材料的本体中形成的压电MEMS换能器，其具有中心轴线和周边区域，并且包括多个梁、膜和柱，多个梁横向于中心轴线，多个梁并且具有被耦合到本体的周边区域的第一端和面向中心轴线的第二端，膜横向于中心轴线并且被布置在多个梁下方，柱与中心轴线平行，并且与梁的第二端和膜是刚性的。MEMS换能器还包括被布置在多个梁上的多个压电感应元件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210120666 U
(45)授权公告日
2020.02.28
(21)申请号 20192
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