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一种制备电解加工用柔性阴极的装置,它包括一箱体、喷枪、激光器、激光传导装置及微波源,该箱体中设有用于承载加工工件的工作台,该工作台上方的箱体上侧面开设供激光束通过的通孔,该微波源连通该箱体以给该箱体中提供微波能量,该喷枪的喷嘴能对准该工作台,该激光传导装置包括X轴振镜、Y轴振镜及平面透镜,该激光器发出的激光束依次经过该X轴振镜、Y轴振镜及平面透镜后能聚焦到工作台上,通过控制X轴振镜、Y轴振镜的偏转,控制激光束的X轴和Y轴方向的移动,把三维织构图案的加工简化为二维扫描过程。本实用新型用于柔性阴极的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210132161 U
(45)授权公告日
2020.03.10
(21)申请号 20192
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