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HBC太阳电池的制备方法及HBC太阳电池.pdfVIP

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  • 2023-08-19 发布于四川
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HBC太阳电池的制备方法及HBC太阳电池.pdf

    一种HBC太阳电池的制备方法及HBC太阳电池，该方法包括如下步骤：在基体层上形成第一非晶硅层；在第一非晶硅层上涂覆光刻胶，以形成第一光刻胶层，并进行压印，以形成与第一非晶硅区域对应的位置形成凸起；对第一非晶硅区域以外的区域进行刻蚀；再次进行涂胶，以形成第二光刻胶层，并进行压印，以在第二非晶硅区域相对应的位置形成第一凹陷；在压印后的第一凹陷内形成第二非晶硅区域；对基体层再次进行涂胶，以形成第三光刻胶层，并进行压印，以在对应于第一非晶硅区域及第二非晶硅区域的位置形成第二凹陷；在第二凹陷内形成电极层。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116613249 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310740571.8 H01L 31/028 (2006.01)

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