一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构.pdf

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本实用新型公开了一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在盖板与平面阴极体之间的绝缘垫，盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却平面阴极体的进水管和出水管，进水管和出水管都套设有第一绝缘套，第一绝缘套包括连接在盖板上的第一保护套、以及连接在平面阴极体上的第二保护套，第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，进水管和出水管都设置在同一个第二绝缘套中，第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210140623 U (45)授权公告日 2020.03.13 (21)申请号 20192