半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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半导体工艺设备.pdf

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本发明公开一种半导体工艺设备，包括一外石英轴和石英轴固定装置，用于固定外石英轴，该石英轴固定装置包括：轴筒，轴筒用于容纳外石英轴，轴筒的筒壁包括一可变形段，可变形段能够通过变形调节其径向尺寸；环形夹紧结构，环形夹紧结构沿可变形段的周向设置，能够在轴向和径向上夹紧外石英轴；底座，轴筒设置在底座上；轴筒上的可变形段能够调节其径向尺寸，便于外石英轴插入轴筒，通过可变形段的环形夹紧结构，使外石英轴在径向和轴向被夹紧于轴筒内，避免外石英轴上下运动时与轴套产生轴向和径向的相对窜动，保证外石英轴上下运动的位置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111725096 A (43)申请公布日 2020.09.29 (21)申请号 202010462057.9 (22)申请日 2020.05.27 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司