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ESD知识介绍 1. 静电基础知识 2. ESD基础知识 3. ESD的危害与防范 Contents 1.1 静电的定义 1. 静电基础知识 静电 Electrostatic 物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷称之为静电。 静电 1.2 静电产生原理 当两个不同的物体相互接触时，电子受外力而脱离轨道，这个外力包含各种能量（如动能、位能、热能、化学能等），就会使其中某个物体失去一些电子，因电子转移而带正电，另一个得到电子的物体则带负电，若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累，从而使物体带上静电。 结果：带正的静电荷 结果：带负的静电荷 相接触的两个物体发生分离 1.3 静电产生方式 当两种具有不同电子亲和势的材料接触后分开或有相互运动后分开时，就会有摩擦起电的现象，这是因为物体间的紧密接触和由于摩擦生热，使离子电子的活性增加，容易向其它物体转移。 任何材料都可能产生摩擦电，但是否带电取决于它是导体还是绝缘体，只有绝缘体才能保持住静电荷。 摩擦起电 如图1，两物体剥离后产生静电 如图2，左列的物质易失去电子带正电，越向上越易失去电子，右列的物质易得到电子带负电，越向下越易得到电子，而且序列位置相隔越远，越容易产生静电。 图1 图2 1. 静电基础知识 1.3 静电产生方式 感应起电（induction electrification）利用静电感应原理，使导体带电的过程，任何放电源的静电场都可能对足够靠近的导电材料产生电分离感应。 感应起电 1. 起电速度 相互摩擦的两物体，在摩擦起电物质列表相对位置越远越容易起电 接触的紧密程度越紧密，电子越容易跑到另外物体上 摩擦系数越高越容易产生静电 分离速度越快越容易分离电子 2. 放电速度 材料导电率 环境的相对湿度 表面湿度 电子和原子核重新结合的速度 影响摩擦起电的要素 1. 静电基础知识 2.1 ESD的定义 2. ESD基础知识 静电放电 Electro-Static discharge（ESD） ESD就是电荷的快速中和，电子从低电势区迁移到高电势区。 ESD 2.2 ESD产生条件 起电(通过摩擦或感应) 电荷的积累 快速的放电 电荷积累 快速放电 2.3 ESD材料分类 2. ESD基础知识 3. Insulator 绝缘材料 2. Dissipative 静电消耗材料 1. Conductive 导体材料 105 Ohms 1012 Ohms 1. 产生静电较少 2. 静电可以通过接地消除 （消除速度适中） 3. 理想的ESD材料 1. 产生静电很多 2. 静电不能通过接地消除 （消除速度特别慢） 3. 非ESD材料 1. 产生静电少 2. 静电可以通过接地消除 （但消除速度很快） 3. 可以接收的ESD材料 电流（A） 持续时间(ns) 2.4 ESD模型 2. ESD基础知识 1. 人体模型（Human Body Model HBM）用模拟人体作为一个是造成敏感组件静电损坏的静电源 2. 带电器件模型（Charged Device Model- CDM）带静电的器件通过接地放电 3. 机器模型（Machine Model- MM）带静电的机器设备接触器件并通过接地放电 4. 场感应模型（Field Induced Model- FIM）因感应而使器件带电并在接地时形成放电，该模式会造成两次放电 三种放电模型放电波形比较图 场感应模式中的两次放电模型图 3.1 ESD对半导体器件的损坏 3. ESD的危害与防范 P-N结的击穿 使介质击穿 使半导体构件损坏 对薄膜元件的危害 受ESD 损坏的芯片 5000V 3000V 8000V 100-500V 看到 听到 感觉到 电子元件受损 破坏前 破坏后 ESD 损坏的方式 直接的方式 间接的方式 3. ESD的危害与防范 3.2 ESD控制、防范 降低成本 提高产品质量 客户满意 增加利润 ESD防范意义 接地：接地对于去除在导体上产生的静电有着非常重要的作用 隔离：使电子器件或部件得到隔离，杜绝与其它物体接触，避免器件受到静电场的影响 中和：绝缘体不论接地还是隔离都不会去除它的静电，那么就需要异性离子中和绝缘体的静电 ESD防范方法 ESD 控制 = Man ( 人 ) + Machine (机 ) +Material (料 )+Method(法 )+ Environment( 环 ) Man ( 人 ) --手腕带 ，ESD鞋，ESD椅子,衣服 … Machine ( 机 ) -- 接地，控制静电电流 -- 消除 / 屏蔽 电磁干扰和交流电场 Material ( 材料 ) -- 使用导体材料 -- 尽量使用静电消