原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种真空磁控旋转双面镀膜夹具，包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置；所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体，固定在真空室腔体上的步进电机及其驱动装置，焊接在真空室腔体上的中空杆件。步进电机转轴上装有齿轮，齿轮与磁铁旋转套筒通过齿轮啮合方式连接。中空杆件与真空室腔体焊接在一起，中空杆件里面有柔性钢丝绳，柔性钢丝绳上端有呈圆周分布的磁铁，可以和磁铁旋转套筒相配合实现同步旋转。所述可旋转夹具部分包括样品夹具架，在样品夹具架的左右两边相应连接有左右样品夹具，左右样品夹具可以在样品架上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210176945 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
文档评论（0）