单晶炉底部断热材.pdfVIP

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2023-08-22 发布于四川
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单晶炉底部断热材.pdf

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本实用新型公开了一种单晶炉底部断热材，属于单晶硅生产设备技术领域。包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套，所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。本实用新型技术方案改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计，通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上，一方面，在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时，安装准确快捷，操作友好。另一方面，在进行清扫时，减少清扫过程中对所述防护套的碰撞，减少所述防护套的损坏率，延长设备的使用寿命。再一方面，当所述防护套被损坏后，可仅仅对所述防护套进行更换，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210177002 U (45)授权公告日 2020.03.24 (21)申请号 20192