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- 2023-08-23 发布于四川
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本公开涉及用于电子设备的压电MEMS阀门。一种压电阀门包括：固定部分，该固定部分限定开口；以及多个可移动部分，该多个可移动部分在该开口上方从该固定部分延伸并且通过径向定向的狭缝彼此分开，该多个可移动部分中的每个可移动部分包括第一材料层和第二材料层，并且该第一材料层或该第二材料层中的至少一者包含压电材料，该压电材料能够操作以在施加电压时驱动该可移动部分在与共享相同径向定向的狭缝的相邻的可移动部分相反的方向上的位移。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116624612 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310130017.8 F16K 31/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.02.
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