一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统.pdfVIP

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2023-08-23 发布于四川
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一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统.pdf

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本申请公开了一种保持环的表面形态检测方法、装置及系统，属于芯片制造技术领域，该方法包括：当接收到启动检测的指令时，控制保持环移动，使所述保持环的下方形成检测空间，通过所述检测空间使轮廓传感器扫描所述保持环的表面；获取所述轮廓传感器采集的所述保持环的表面轮廓数据；根据所述保持环的表面轮廓数据确定所述保持环的轮廓特征参数；根据所述保持环的轮廓特征参数确定所述保持环的表面形态。本申请可以有效代替手动拆卸后测量检查，缩短检测时间，量化保持环的轮廓特征参数实现对保持环表面形态缺陷的早期检测，能提前发现研磨

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116625273 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310599208.9 (22)申请日 2023.05.25 (71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中