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化学气相淀积设备、陶瓷加热盘.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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化学气相淀积设备、陶瓷加热盘.pdf

    本实用新型提供一种化学气相淀积设备、陶瓷加热盘。所述陶瓷加热盘包括加热盘体、陶瓷管，其特征在于，所述加热盘体包括由下至上依次层叠设置的第一陶瓷体、加热片及第二陶瓷体，经过烧结固定成为一体；所述第一陶瓷体的导热率低于所述第二陶瓷体的导热率。化学气相淀积设备包括该陶瓷加热盘。本实用新型加热片产生的热量大部分的向上传递，使得加热盘整体电阻设置更加简单且容易操作，减少干扰因素，在晶圆刻蚀或沉积过程能更好的控制温度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215543 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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