一种多边形单晶硅棒.pdfVIP

  • 5
  • 0
  • 约2.03万字
  • 约 16页
  • 2023-08-25 发布于四川
  • 举报
本实用新型提供一种多边形单晶硅棒,包括2N边形端面和设于所述端面间2N个平面,所述2N边形至少有一组对边为晶向,且所述平面至少有一组对位面为(100)晶面,其中,N≥3且为整数。本实用新型提出的多边形单晶硅棒,对其结构进行优化,保证其平面至少有一组对位面为(100)晶面,可获得粗糙度低且平整度高的表面质量,提高了后续加工多边形硅片的成品率,结构设计合理。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210210947 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档