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- 2023-08-25 发布于四川
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本实用新型提供一种多边形单晶硅棒,包括2N边形端面和设于所述端面间2N个平面,所述2N边形至少有一组对边为晶向,且所述平面至少有一组对位面为(100)晶面,其中,N≥3且为整数。本实用新型提出的多边形单晶硅棒,对其结构进行优化,保证其平面至少有一组对位面为(100)晶面,可获得粗糙度低且平整度高的表面质量,提高了后续加工多边形硅片的成品率,结构设计合理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210210947 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
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