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硅片上的各种监控图形 刘逵 1 目录工艺中的监控项目为什么需要监控图形？版上图形介绍硅片上的图形种类监控图形介绍使用显微镜的注意事项2 工艺中的监控项目光刻：CD尺寸，套刻精度，胶厚等腐蚀：CD尺寸，剩余介质厚度等薄膜：厚度，折射率，应力，掺杂膜的杂质浓度等扩散：厚度，折射率，方块电阻，结深等On-line：利用产品片或同时加工的陪片进行；好处：发现问题及时，节省硅片。 Off-line：一般利用假片进行。好处：可以进行破坏性测试，或正片上无法测试的项目。 3 为什么需要监控图形?必须有专门的测试结构才能得出结果(如套刻游标）