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一种生长砷化镓单晶的温控炉.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种生长砷化镓单晶的温控炉.pdf

    本实用新型公开了一种生长砷化镓单晶的温控炉,包括温控炉本体，所述温控炉本体的内壁安装有保温罩，所述保温罩的内腔设置有坩埚和石墨加热器，所述坩埚的底部设置有放置架，所述放置架由两个弧形固定杆和一个固定环连接组成，所述放置架的内侧开设有限位槽，所述坩埚的外侧设置有限位条块，所述放置架的底部通过连接部与托杆的顶端相连，所述托杆的底端贯穿所述温控炉本体的下表面，并与旋转系统相连。综上所述，本实用新型的有益效果在于：通过放置架大大减少坩埚与放置架之间的接触面积，便于石墨加热器直接对坩埚的底部进行加热，提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215611 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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