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微流控芯片的制作 2 精心整理，用心做精品 用心整理的精品 w0rd 文档，下载即可编辑！！ PDMS－玻璃杂合芯片快速制作方法详解(初稿) 前言 本文以实战制作高度 15 ~ 80μm 的通道为例，详细介绍的 PDMS－玻璃杂合 芯片的快速制作方法。 注意：进入芯片加工间需穿实验服，进行芯片制作时需带上无粉乳胶手套。 目录 一、快速制作 SU-8 阳模步骤： 1. 硅片清洗 2 ．基片加热除湿 3 ．倒胶匀胶 4．SU-8 基片前烘 5．SU-8 基片曝光 6．SU-8 基片后烘 7 ．显影 8 ．坚模 二、制作 PDMS 玻璃杂合芯片步骤 1 ．制备 PDMS 预聚体 2 ．除去 PDM