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一种基板夹持装置及基板后处理系统.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种基板夹持装置及基板后处理系统.pdf

    本实用新型公开了一种基板夹持装置及基板后处理系统，包括基座、至少两个夹持件及至少两个固定件，所述夹持件和所述固定件沿所述基座圆周设置，所述至少两个固定件彼此相邻设置，所述至少两个夹持件彼此相邻设置且可以沿所述基座径向移动以夹持基板，所述基板可随所述基板夹持装置一起运动且与所述基板夹持装置之间不产生相对移动。本申请所述的技术方案，提高了基板夹持的可靠性，保证了基板后处理过程的稳定性，提高了基板后处理的效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210223992 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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