一种半导体设备用密封性能检验机构.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种半导体设备用密封性能检验机构.pdf

本实用新型公开了一种半导体设备用密封性能检验机构,包括底座,该半导体设备用密封性能检验机构,通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定,通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸,使波纹管处于适应长度,避免了抽气时波纹管的负压收缩变形,对波纹管本身起到保护作用,适用范围广泛,本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管,还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管,具有通用性,本机构结构小巧简单,拆卸方便,提高了波纹管的检漏效率,整体结构合理,使用便捷,密封性能好,利于后期检验时的准确对,此工装结构有效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210221427 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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