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晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统.pdf

    本发明公开了一种晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统，晶圆竖直旋转处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；通风系统包括进气组件和排气组件，外部的气体从设于进风罩下方的进气管路引入并通过进风面板的进风口通入晶圆处理腔室，腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；进风面板上不同面积的进风口按照特定方式分布，进风口为台阶孔形状，其包括位于进气侧的第一通孔和位于出气侧的第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113471123 A (43)申请公布日 2021.10.01 (21)申请号 202110761694.0 (22)申请日 2021.07.06 (71)申请人 华海清科股份有限公司

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