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镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法.pdf

    本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法。本发明提供一种能够抑制因滞留在基板的被镀覆面的气泡而导致基板的镀覆品质变差的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)，存积镀覆液，并且在内部配置有阳极(11)；基板保持件(30)，配置于比阳极靠上方的位置，将作为阴极的基板保持为基板的被镀覆面朝向下方，并且具有比基板的被镀覆面的外周缘向下方突出的环(31)；旋转机构(40)，使基板保持件旋转；以及升降机构(50)，使基板保持件升降，在环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起(35)。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115244228 A (43)申请公布日 2022.10.25 (21)申请号 202180003911.8 (51)Int.Cl.

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