一种半导体设备机架模组检测装置及其检测方法.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种半导体设备机架模组检测装置及其检测方法.pdf

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本发明涉及半导体模组生产技术领域，具体是一种半导体设备机架模组检测装置及其检测方法，包括箱体、升降装置、测试机构、夹持装置和除尘装置，箱体内部底端安装有升降装置，升降装置包括第一支撑座和第二支撑座，第一支撑座和第二支撑座分别安装于箱体内部底端的两侧，第一支撑座的顶部一端固定安装有第一电动伸缩杆。本发明，对半导体模组检测时产生的粉尘和废料杂物进行处理，不会造成环境污染和工作人员身体健康的破坏，杜绝安全隐患，提高工作时安全性；根据需要检测的半导体模组尺寸，调节测试机构的高度，实现精准高效地对半导体模

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116642684 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310718933.3 (22)申请日 2023.06.16 (71)申请人航菱微（泰州）科技有限公司地址