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晶片处理系统和用于所述晶片处理系统的环流扩展器.pdfVIP

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  • 2023-08-29 发布于四川
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晶片处理系统和用于所述晶片处理系统的环流扩展器.pdf

    晶片处理系统和在这些系统中使用的环流扩展器，该流扩展器靠近并围绕晶片承载器的周边边缘。环流扩展器具有面向上游方向的顶表面，环被构造和布置成使得当反应器处于操作状态时，环紧密地围绕晶片承载器并且环的顶表面与承载器的顶表面基本上是位于同一平面的和/或连续的。环流扩展器具有外周面，外周面包括在环的顶表面处或附近的倒圆部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210261980 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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