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- 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型提供一种AMATEtchCenturaAP平台设备的高速旋转气管密封结构，涉及集成电路生产设备，通过环绕气管设置的磁体以及位于气管与磁体之间的磁流体构成AMATEtchCenturaAP平台设备的高速旋转气管密封结构，能够有效达到真空密封效果，同时不会在高速运动中损伤密封部件，使晶圆传输过程中不出现移动现象，以避免密封不良导致的真空压力下降报警，硅片对准异常报警，硅片滑片报警，减少AMATEtchCenturaAP平台设备的停机(down)次数，提升AMATEtch
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210266213 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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