原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种半导体元器件加工车间湿度保持装置，涉及车间环境控制领域。该半导体元器件加工车间湿度保持装置，包括雾化器，所述雾化器一侧设置有气体处理箱，所述气体处理箱底部设置有气泵，所述气泵进气口固定连接有进气弯管，所述进气弯管顶部固定连接有湿度传感器。该半导体元器件加工车间湿度保持装置，工作的气泵抽取的湿度较大的气体后输送到气体处理箱内部，气体被干燥剂吸收水分后通过单向阀喷向多个电热棒，此时气体被干燥剂进行第一次除湿。并且气体被多个电热棒加热烘干，对气体进行第二次除湿。对气体进行快速高效的除湿工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116658991 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310659784.8 F24F 110/20 (2018.01)
(22)申请日 2023.06
文档评论（0）