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本发明实施例公开了一种磁电阻微区形貌传感器，包括硅基板、至少一个磁阻探测阵列以及多个力传导结构，磁阻探测阵列设置于硅基板的第一表面，每个磁阻探测阵列包括多个探测区域，每个探测区域内设置多个磁阻敏感元件，磁阻敏感元件的等效磁矩方向平行或垂直于第一表面，力传导结构设置于磁阻探测阵列远离硅基板的一侧，每个力传导结构覆盖至少一个磁阻敏感元件。该磁电阻微区形貌传感器具有高分辨率、高灵敏度以及良好的防伪性和静电放电抗性，适合多种测量环境，多种指纹质量的检测。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111259865 A
(43)申请公布日
2020.06.09
(21)申请号 20201
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