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三维微细加工技术综述 0 mems加工技术的研制和应用 纳米技术是过去的一个分支点。它的发展极大地扩展了人们对客观世界的了解，带来了新的技术革命。MEMS 技术具有体积小、可批量生产、性能高、成本低等优点。侧壁陡直、深宽比大的微结构不仅可以提高微型器件的性能,而且还能增加微型器件的强度,防止因机械失效或应力集中产生的破坏。因此,三维微结构的制作技术成为了MEMS加工的关键技术之一。当前用于三维微结构加工的微细加工技术有两类,即常规机械加工工艺和基于光刻技术的三维微细加工工艺。 1 基于传统机械的加工技术 1.1 电极磨削技术 微细电火花加工技术(MEDM)的研究起步于20世纪60年代末,其基本原理是利用工具和工件之间脉冲性火花放电时的电腐蚀现象来蚀除多余的金属,以满足对零件尺寸、形状及表面预定质量的加工要求。实现微细电火花三维加工的关键技术包括提高机械运动系统整体的运动控制精度、微小能量放电电源、放电加工状态的检测与系统控制及相应的加工工艺技术等。 20世纪90年代以来,人们开始探索使用简单形状的微细电极,借鉴数控铣削的方法进行微三维结构的电火花加工。电火花加工由于其非机械接触加工的方式,能够加工各种导电性材料,同时由于加工电流小,亦能够加工Si等半导体高阻抗材料。电火花线电极磨削法示意图见图1。据报道,目前应用电火花加工技术已能够得到加工表面尺寸精度高于0.1μm,表面粗糙度小