接合装置、接合系统、接合方法和计算机存储介质.pdfVIP

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2023-09-02 发布于四川
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接合装置、接合系统、接合方法和计算机存储介质.pdf

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提供接合装置、接合系统、接合方法和计算机存储介质。将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；移动部，其使第一保持部和第二保持部沿水平方向相对移动；激光干涉仪，其测量通过该移动部而移动的第一保持部或第二保持部的位置；线性标尺，其测量该移动部的位置；以及控制部，其使用激光干涉仪的测量结果和该线性标尺的测量结果来控制移动部。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116682759 A (43)申请公布日 2023.09.01 (21)申请号 202310680581.7 H01L 21/68 (2006.01)