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mems加速度计和陀螺仪的原理及应用 传感器是实现电子消费性应用不可或缺的重要因素。近几年以来,不论是从游戏机到手机,或者是从笔记本电脑到白色家电,许多的消费性电子产品都通过低重力加速度计,实现了动作控制的用户接口和强化保护系统。而现在则轮到MEMS陀螺仪(Gyroscope)和磁传感器(Magnetism Sensor)受到瞩目,将为消费性电子应用推动下一波创新应用及产业增长。 有关能够测量线性加速度的MEMS加速度计(Accelerometer)的技术文章已经很多,因此,本文基本上不会涉及加速度计,而把更多的篇幅留给陀螺仪、磁传感器等具有多个角速度自由侦测功能的元件。 陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴动作的角速度,是补充MEMS加速度计功能的理想技术。事实上,如果结合加速度计和陀螺仪这两种传感器,系统设计人员可以跟踪并捕捉3D空间的完整动作,为终端用户提供更真实的用户体验、精确的导航系统及其它功能。 传感器工作原理 消费性电子和手机MEMS传感器供货商凭借着近期推出的多款低功耗和小型封装的高性能陀螺仪,正快速渗透MEMS市场。 陀螺仪的核心元件是一个微加工机械单元,在设计上按照一个音叉机制运转,通过科氏力原理(Principle of Coriolis)把角速率转换成一个特定感测结构的位移。 以一个单轴偏移(Yaw)陀螺仪为例,探讨最简单的工作原理(图1)。两个正在动作的质量向