一种全自动溅镀装置.pdfVIP

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2023-09-03 发布于四川
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一种全自动溅镀装置.pdf

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本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210314466 U (45)授权公告日 2020.04.14 (21)申请号 20192