六扫描电子显微术.ppt

第六章 扫描电子显微书;;;;New S-4800 FE-SEM ;;;第一节结构原理;;;Image;;Energy Spread Effect of chromatic aberration ;Wehnelt;;Out Lens Type (W-SEM, S-4300);;The illumination angle (α) of a scanning electron microscope;;;Primary Electron Beam ;Astigmatism correction method;Photomultiplier;第二节分辨率和放大倍数;三、入射电子在试样内的激发区域 入射电子在被散射或吸收之前，将在试样表面下的某个距离R范围内运动，并激发各种射线。这些射线的能量或穿透能力各不相同，只有一定深度一定能量的射线才能逸出表面，被检测到。对于一般元素而言，电子束与试样作用，激发区域是一个梨形作用区。对重金属而言，此激发区域是一个半球形区域。不同的信号来自此激发区内不同的深度。;; ;Secondary Electrons Carrying Surface Information Of Specimen ;;;第三节 电子束与试样相互作用激发的各种信号及工作方式;四、透射方式------透射电子 透射电子中既有弹性散射电子也有非弹性散射电子。其能量大小取决于试样的性质和厚度。可以显示成分分布。 五、俄歇电子方式------俄歇电子 能量极低，具有元素的特征能量，适合于做表层成分分析。 六、X射线方式------特征X射线 高能入射电子轰击固体试样，就好像一只X射线管，试样是其中的靶。特征X射线的波长因试样元素不同而不同，其相对强度与元素含量有关。 七、阴极发光方式------可见光 有些物质在高能电子束轰击下会发光，发光波长与杂质原子和基体物质有关。对发光光谱做波长分析，可以鉴别出基体;物质和所含的杂质。用光电倍增管接收、成像就可以显示杂质及晶体缺陷分布情况。 八、感应信号方式------感应电信号 半导体和绝缘体在高速电子束的轰击下会在其中产生空穴-电子对，感应信号就是以此作信号的一种工作方式。这种方式可以显示半导体、绝缘体的表面形貌、晶体缺陷、微等离子体和p-n结。;100;Scanning(Y);第四节 形貌象解释;;;;;;;;第五节 晶体学分析;成一倾角?，可以证明，两晶面间夹角?0与?以及图(a)所示的?1、?2之间有如下关系：;第一节 活塞式空压机的工作原理 第二节 活塞式空压机的结构和自动控制 第三节 活塞式空压机的管理 复习思考题;压缩空气在船舶上的应用： 1.主机的启动、换向； 2.辅机的启动； 3.为气动装置提供气源； 4.为气动工具提供气源； 5.吹洗零部件和滤器。;空压机分类：;第一节 活塞式空压机的工作原理;两级活塞式压缩机 ;膜片式压缩机 ;旋转叶片式压缩机 ;最长的使用寿命- ???????????????????????????????????????????????????----低转速（1460RPM），动件少（轴承与滑片），润滑油在机件间形成保护膜，防止磨损及泄漏，使空压机能够安静有效运作；平时有按规定做例行保养的JAGUAR滑片式空压机，至今使用十万小时以上，依然完好如初，按十万小时相当于每日以十小时运作计算，可长达33年之久。因此，将滑片式空压机比喻为一部终身机器实不为过。;1.进气　　　　2.开始压缩　　　　3.压缩中　　　　　4.排气;4.被压缩的空气压力升高达到额定的压力后由排气端排出进入油气分离器内。;;;;活塞式空气压缩机的外形;第一节 活塞式空压机的工作原理;第一节 活塞式空压机的工作原理;二、实际工作循环（单级压缩）;;2）进排气阀及流道阻力的影响;3）吸气预热的影响;4）漏泄的影响;上述五条原因使实际与理论循环不同。;3. 排气量和输气系数;指示功率pi ： 按示功图计算的功率 理论功率Ps、PT ：按理论循环计算的功率 Ps(PT) pi 轴功率P： 压缩机轴的输入功率;三、多极压缩和中间冷却;1) 降低压缩终了的排气温度，保证机件润滑； 2) 减小余隙容积对排气量的影响，提高输气系数； 3) 节省压缩功(c-b-d-e-c)； 4) 减轻活塞上的作用力。;2. 各级压缩比的确定 理论分析：各级耗功相等时，压缩机总耗功最小。