AZO透明导电薄膜的制备和等离子体表面处理的中期报告.docxVIP

AZO透明导电薄膜的制备和等离子体表面处理的中期报告 本报告介绍了AZO（氧化铝掺杂锌）透明导电薄膜的制备和等离子体表面处理的中期研究结果。 一、AZO透明导电薄膜的制备 1. 溶液法制备 采用化学溶液法制备AZO透明导电薄膜。首先，将适量的氯化锌和氯化铝分别加入乙醇中，制备出两种溶液。然后将两种溶液混合，并加入聚乙二醇（PEG）和乙二醇（EG），制备出含金属离子的混合溶液。所选的基底为玻璃基板，将基底放置于反应器中。接着，将混合溶液注入反应器中，在室温下沉积5~10分钟，形成初步的沉积层。最后将反应器温度升高至250°C，使其高温煅烧2小时，形成AZO透明导电薄膜。 2. 磁控溅射法制备 采用磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜。首先准备一台磁控溅射设备和对应的基底（玻璃、聚酰亚胺等）。将先前制备好的铝掺杂锌或氧化锌靶材以高真空方式加入设备中，并在氩气保护下进行溅射。在一定的工艺参数下，通过对溅射的时间、功率、气体流量等参数的调节，可以制备出具有所需厚度和电学性质的AZO透明导电薄膜。 二、等离子体表面处理 将已经制备好的AZO透明导电薄膜进行等离子体表面处理，以改善其光电性能。等离子体表面处理可以提高薄膜的导电性能、抗氧化性能、透明性等。等离子体表面处理的方法有：热处理、等离子体辅助化学气相沉积法、等离子体增强电子束蒸发法等。 在本次实验中，我们使用的是等离子体增强电子束蒸发法。首