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一种半导体晶圆片清洗机安全系统及使用方法.pdfVIP

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  • 2023-09-06 发布于四川
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一种半导体晶圆片清洗机安全系统及使用方法.pdf

    本申请公开了一种半导体晶圆片清洗机安全系统及使用方法，该系统包括中心控制器、温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构以及二氧化碳储气罐，所述温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构、以及二氧化碳储气罐均与中心控制器电性连接。本申请与现有技术相比：该半导体晶圆片清洗机安全系统相较于现有技术具有多重安全保护、实时监测与控制、自动落锁机构、灭火功能以及声光报警器和储备电池等优点。通过多个温度传感器和烟雾报警器实时监测温度和烟雾信息，中心控制器能够及时采取控制措施，例如断开电

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116688399 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310569153.7 G08B 17/00 (2006.01)

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