晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.51万字
约 15页
2023-09-07 发布于四川
举报
版权申诉

晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种晶体生长炉断电保护方法及晶体生长炉，该晶体生长炉包括与备用电源均电连接的第一升降组件和抽吸泵，以及坩埚和位于坩埚内的晶棒和熔融液；该晶体生长炉断电保护方法包括步骤：启用备用电源；驱动第一升降组件将吸管伸入至坩埚内，并使吸管的吸口位于熔融液的液面下方；启动抽吸泵，通过吸管抽走坩埚内的熔融液，以将晶棒与熔融液分离。本发明的优点在于：在晶体生长炉遇到断电情况后，备用电源为第一升降组件和抽吸泵供电，第一升降组件将抽吸泵的吸管伸入坩埚，从而利用抽吸泵将坩埚内的熔融液抽走，如此便实现了晶棒和熔

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115652409 A (43)申请公布日 2023.01.31 (21)申请号 202211308199.5 (22)申请日 2022.10.25 (71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址 3