基于RFID的无尘室FFU监控系统研究的中期报告.docxVIP

基于RFID的无尘室FFU监控系统研究的中期报告 一、研究背景介绍： 无尘室是指能够控制室内微尘颗粒浓度，并保持在一定低水平的房间环境。其主要应用于半导体、电子、光电子、精密仪器等领域。 如今，无尘室已经成为了半导体制造行业必不可少的环境设施。无尘室靠风淋设备来控制它内部的微粒颗粒的数量，并使其保持在一个合适的水平。风淋柜是让压差流动的方式通过高效过滤器过滤，达到空气净化的设备。它的作用是通过对人、空气、物品的灌尘来达到脱静电、异味去除等功效。 为了保证无尘室能够正常运行，需要对其中的风淋设备进行监控。目前，传统的监控方式主要是基于手工巡检的方式，这种方式人工成本高，效率低，容易出现漏检等问题。基于RFID技术的无尘室FFU（Fan Filter Unit，风机过滤器组件）监控系统具有无盲区、实时监控、高效率等优点，在无尘室监控中应用的前景非常广阔。 二、研究内容及进展： 本研究旨在设计并实现一种基于RFID技术的无尘室FFU监控系统，其具体任务包括： 1. 调研无尘室FFU监控系统的技术现状和发展趋势，制定监控系统的需求分析和规划。 2. 设计RFID读写器及射频天线，采集FFU数据，并将其传输至监控系统。 3. 设计监控系统数据库，实现FFU的状态监测、故障诊断、报警等功能，同时可对数据进行管理及分析。 目前，我们已经完成了第一阶段的调研工作，对无尘室FFU监控系统的技术现状及