原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种耐腐蚀TiCrN/Cr电磁屏蔽膜及制备方法，该制备方法包括：步骤1，先对基体打磨，再进行抛光处理；将基体清洗；将基体烘干处理；将基体置于磁控溅射仪的中央样品台上，在靶基座上装上Ti和Cr靶，关闭溅射室，进行真空抽取；分别打开Ti和Cr靶直流电源，对Ti和Cr靶材进行预溅射，除去Ti和Cr靶材表面附着的杂质；进行磁控直流溅射，镀制Cr薄膜；进行反应磁控共溅射，镀制TiCrN薄膜；关闭Ti和Cr靶直流电源，打开真空阀门，取出薄膜样品。本发明能够改善薄膜的电磁屏蔽性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116716580 A
(43)申请公布日 2023.09.08
(21)申请号 202310679987.3 C23C 14/06 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
文档评论（0）