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一种微型储能器件及其制备方法和应用.pdfVIP

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  • 2023-09-09 发布于四川
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一种微型储能器件及其制备方法和应用.pdf

    本发明提供了一种微型储能器件及其制备方法和应用，属于储能器件加工技术领域。包括以下步骤：(1)在硅晶圆上旋涂光刻胶，得到旋涂有光刻胶的硅晶圆；(2)在所述步骤(1)得到的旋涂有光刻胶的硅晶圆表面进行光刻图案化，得到图案化硅晶圆；(3)将所述步骤(2)得到的图案化硅晶圆进行热解，得到微型储能器件。本发明在硅晶圆表面旋涂光刻胶后进行光刻图案化，利用光刻技术达到芯片级别的精细加工要求，提高微型储能器件的精细度，图案化后再进行热解能够将非导电的光刻胶碳化，碳化后的材料疏松多孔，比表面积大，从而提高微型储

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116722000 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310662927.0 (22)申请日 2023.06.06 (71)申请人 华东理工大学 地址 200237

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